초록 ▼

용어보기논문에서 용어와 풀이말을 자동 추출한 결과로, 시범 서비스 중입니다. AI-Helper

잉크젯(inkjet) 기술은 과거에 가정용 프린트와 산업용 프린트에만 쓰였지만 최근에는 MEMS, 반도체 공정 등에서 폭넓게 사용되고 있으며, 특히 금속 잉크를 이용한 마이크로 회로 패터닝 및 전자 패키징 공정에서의 마이크로 범프(bump) 제작에서 중요한 역할을 한다. 전자 패키징 공정에서 잉크젯을 이용하면 공정을 획기적으로 줄일 수 있는 장점이 있으나 다양한 종류의 전도성 잉크를 안정적으로 토출할 수 있는 ...

잉크젯(inkjet) 기술은 과거에 가정용 프린트와 산업용 프린트에만 쓰였지만 최근에는 MEMS, 반도체 공정 등에서 폭넓게 사용되고 있으며, 특히 금속 잉크를 이용한 마이크로 회로 패터닝 및 전자 패키징 공정에서의 마이크로 범프(bump) 제작에서 중요한 역할을 한다. 전자 패키징 공정에서 잉크젯을 이용하면 공정을 획기적으로 줄일 수 있는 장점이 있으나 다양한 종류의 전도성 잉크를 안정적으로 토출할 수 있는 노즐 기술이 아직 부족하다. 따라서 잉크젯 기술이 더욱 발전되어지기 위해서는 다양한 점도의 유체에 대응할 수 있는 잉크젯 노즐의 설계와 제작에 대한 체계적인 접근이 무엇보다 시급하다. 본 연구에서는 사각 단면의 평면형 채널을 가진 피에조 구동형 잉크젯 노즐을 정밀 가공기법을 이용하여 아크릴로 노즐의 몸체를 설계 및 제작하고, 탄탈륨을 멤브레인으로 이용하여 피에조의 변이를 전달하게 하였다. 또한 양극파형의 펄스폭(pulse width)을 다양하게 변화시키면서 액적의 토출 특성을 측정하고 분석하고자 한다. 이를 위해 구동 파형의 매개 변수를 자유롭게 변경 가능한 시스템을 구축하였다. 양극파형을 +-waveform과 -+waveform의 두 가지 형태로 가했을 때, 첫 번째 펄스폭이 증가할수록 두 번째 펄스폭이 더 작은 값에서도 단일 액적이 토출된다. 첫 번째 펄스폭이 주어져 있으면 두 번째 펄스폭이 일정 값 이상으로 증가할 때 단일 액적 대신 이중 액적이 토출된다. 단일 액적이 토출되는 펄스폭의 범위는 +-waveform에서보다 -+waveform에서 더 넓게 나타났다. 액적이 토출되는 속도는 +-waveform에서보다 -+waveform에서 더 크게 나타났으며, 두 번째 펄스폭이 증가하면 파형에 상관없이 커진다.

Abstract ▼ AI-Helper

In this study, an inkjet nozzle driven bypiezoelectric actuations has been developed in order to dispense conductive ink. The body of the nozzle which was fabricated by precision machining techniques, is made from transparent acrylic material to visualize the flow inside the nozzle. Then, a tantalum...

In this study, an inkjet nozzle driven bypiezoelectric actuations has been developed in order to dispense conductive ink. The body of the nozzle which was fabricated by precision machining techniques, is made from transparent acrylic material to visualize the flow inside the nozzle. Then, a tantalum membrane with a 30 thickness covers the channel formed in the nozzle body. A piezoelectric material is attached to the membrane. The piezoelectric actuators are driven by a voltage amplifier which generates high-voltage square or bipolar waves. Droplet formation through the nozzle is monitored by a CCD camera and a microscope objective. The characteristics of droplet ejection is analyzed based upon the parameters of the waveform.

주제어