$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

전자식 팽창밸브를 이용한 냉동시스템 모델링
Dynamic System Model for Refrigeration 원문보기


임용진 (서울시립대학교 일반대학원 기계정보공학과 로보틱스 국내석사)

초록 ▼
AI-Helper 아이콘AI-Helper

반도체용 Chiller는 반도체 제조공정 중에 발생되는 열 부하의 변동을 대응하여 장비의 운용온도를 일정하게 유지시키기 위하여 사용되는데 일반적인 냉동 사이클(압축기-응축기-팽창밸브-증발기)로 구성된 1차 냉매시스템이 냉각시킨 2차 냉매가 열교환을 통해 실제반도체 제조장비의 온도를 제어하는 구조로 되어있다. 이 때 정밀한 온도제어를 위하여 Chiller의 제어 방식으로 압축기의 on-off 제어방식, 2차 냉매에 히터를 이용한 제어 방식이 있다. 본 연구는 위의 방식에서 전열히터를 제외한 전자식 팽창밸브만을 이용한 제어방식을 제안하였다. 이것은 기존의 방식에서 압축기의 on-off시 액압축의 문제, 2차 냉매에 히터를 사용한 방식의 ...

주제어

#Chiller  #Electronic Expansion Valve 

학위논문 정보

저자 임용진
학위수여기관 서울시립대학교 일반대학원
학위구분 국내석사
학과 기계정보공학과 로보틱스
지도교수 신동헌
발행연도 2013
총페이지 iv, 28 p.
키워드 Chiller, Electronic Expansion Valve
언어 kor
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T13073825&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로