최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기최근 전자기기의 소형화, 고기능화에 맞추어 반도체 소자의 집적도가 크게 증가함에 따라 소자의 대용량을 추구하기 위해 집적회로의 배선폭은 감소하고 배선의 길이는 증가하는 추세에 있다. 또한 소자의 크기가 나노크기로 작아짐에 따라, 박막 공정은 대면적에서의 균일성, 두께 및 조성 조절 등 기존의 ...
저자 | 윤재식 |
---|---|
학위수여기관 | 한밭대학교 정보통신전문대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 정보통신공학과 |
지도교수 | 이연승 |
발행연도 | 2014 |
총페이지 | vi, 57 p. |
키워드 | 나노소자 금속배선 무전해 구리 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13366337&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.