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NTIS 바로가기본 논문에서는 디지털 마스크리스 노광기의 광학계에 대한 분석을 다루고 있다. 노광 광학계의 MLA(Multi Lens Array)가 오정렬되어 mount될 경우 발생할 수 있는 광학성능의 저하를 분석하였다. 분석은 두가지 방법으로 진행하였다. 첫 번째는 결상광학적인 접근으로 Zernike ...
저자 | 이지훈 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 나노-광공학과 기하광학 |
지도교수 | 정미숙 |
발행연도 | 2014 |
총페이지 | 31 |
키워드 | Misalign Lithography Optics Geometric Optics |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13366376&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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