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NTIS 바로가기미세유체소자에서 유리소재는 광학적 투명성, 화학적 안정성, 고경도, 보존성 등의 장점 때문에 마이크로시스템 및 부품 소재로써 각광받고 많이 사용되어 왔다. 유리를 미세가공하는 방법 중에 파우더 블라스팅법은 연마재 입자를 공압으로 가속시켜 재료표면과 충돌 후 재료표면에 크랙을 발생시켜 재료를 제거하는 가공 방법이다. 블라스팅 법은 가공속도가 빠르며 비용도 저렴하여 다른 방법에 비해 효율이 좋지만 크랙으로 인한 높은 ...
저자 | 손성균 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 지식기반에너지대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기계시스템설계 |
지도교수 | 김욱배 |
발행연도 | 2014 |
키워드 | Abrasive jet polishing Glass micromachining Blasting Microfludic device Surface roughness |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13366386&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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