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NTIS 바로가기산업기술이 발전함과 동시에 최근 이동통신을 비롯한 IT 산업의 급속한 발전은 각종 전자, 정보통신에 있어 보다 작고 가볍고 휴대하기 편리하면서도 많은 기능들이 내장 및 통합되기를 요구하고 있다. 이와 같은 경향에 따라 소형화, 경량화 및 고 집접화로 향상된 기능을 가지는 각종 소자부품의 개발과 동시에 오염이 없는 친환경 기술 개발에 대한 요구가 끊임없이 제기되고 있다. 현재 산업분야에는 전통적인 패턴형성 공정인 리소그라피 공정이 사용되고 있다. 이 공정은 회로 층을 형성하는데 많은 단계가 필요하다. 여러 단계를 거치기 때문에 공정이 복잡하고 공정시간이 길다. 또한 ...
저자 | 홍아라 |
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학위수여기관 | 전북대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 반도체.화학공학부(화학공학) |
지도교수 | 한윤봉 |
발행연도 | 2013 |
총페이지 | VIII, 86 p. |
키워드 | Al-doped ZnO nanoparticle sol-gel |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13417915&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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