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NTIS 바로가기본 논문에서는 다수의 CCD(Charged Coupled Device) 카메라를 이용해 반도체 생산에 사용되는 웨이퍼 얼라이너 알고리즘(Wafer Aligner Algorithm)에 대해서 연구하고자 한다. 기존의 얼라이너 방법은 기계적인 방법과 ...
저자 | 장진영 |
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학위수여기관 | 선문대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 정보통신공학과 정보통신공학 전공 |
지도교수 | 박윤창 |
발행연도 | 2014 |
총페이지 | v, 30 p. |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13430767&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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