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NTIS 바로가기본 연구는 AFM (atomic force microscope)에 적용 가능한 고 종횡비 프로브 팁을 제작하는 방법에 대한 것이다. 고 종횡비의 프로브 팁은 낮은 종횡비의 프로브 팁에 비해 깊은 샘플의 측정이 가능하고 또한 정전기적 특성을 이용하여 전기적 특성을 측정하는 EFM (electrostatic force microscope) 및 FED (field emission display) 디스플레이의 ...
저자 | 이준우 |
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학위수여기관 | 한국산업기술대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 나노-광공학과 mems전공 |
지도교수 | 김창규 |
발행연도 | 2015 |
총페이지 | 68 |
키워드 | probe tip |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13665691&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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