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NTIS 바로가기반도체 제조 공정에서 정전기의 발생은 반도체에 어떤 영향을 주는지 연구하고 이러한 정전기의 발생이 일어나는 환경에 대해 연구하였다. 클린룸 내부의 미립자 축적 및 반도체 웨이퍼 표면에 응축되는 현상은 정전기에 의하여 발생하고 이러한 현상은 제품의 불량을 일으키는 것을 알 수 있었다. 클린룸 내부에서 정전기의 발생은 클린룸 내부의 공조장치의 작동 및 제조장비의 작동에 의해 발생하거나 작업자의 작업 및 낮은 습도환경에 따라 발생하는 것을 알 수 있었고 클린룸 내 국소지역에서 습도관리가 취약한 구역이 존재함을 알 수 있었다. 이러한 낮은 습도환경 및 습도관리가 취약한 국소지역의 존재로 발생하는 반도체 및 LCD등의 불량률을 줄이기 위한 방법을 연구하여 항습장치의 개발을 하였다. 항습장치는 주변의 온도와 습도를 센서로 파악하고 이렇게 얻은 데이터 값을 MCU로 제어되는 항습장치와 통신하여 ...
This study examined the effects of static electricity created during the semiconductor manufacturing process upon the semiconductor products and identified the environments where such static electricity is generated. As a result, it was observed that static electricity was responsible for the accumu...
저자 | 한도운 |
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학위수여기관 | 공주대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 기전공학과 |
발행연도 | 2015 |
총페이지 | vi, 49장. |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13861661&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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