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최근 정보전송량의 증가에 따라 PLC(Planar lightwave circuit)형 광소자의 사용이 증가하고 있다. 기존의 PLC형 광소자는 실리카(Silica) 광도파로를 기반으로 화학기상 증착법과 포토리소그래피 및 식각 공정과 같은 반도체 공정으로 제작되어 저가격화에 대한 어려움이 있다.
본 논문에서는 이러한 문제를 해결하고자 롤투롤 임프린트 공정에 의한 광소자 제작 연구를 수행하였다. ...
저자 | 김정훈 |
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학위수여기관 | 부산대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 인지메카트로닉스공학과 |
지도교수 | Jeong Myung Yung |
발행연도 | 2015 |
총페이지 | 59 장 |
키워드 | 롤투롤공정 광소자제작 |
언어 | eng |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T13864191&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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