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본 연구의 목적은 광산란 측정 범위 제어와 광학적 요소를 편리하게 적용할 수 있는 측정장비를 개발하는 것이다. 측정장비의 기구적 요소들은 3D 모형화와 유한요소해석을 통하여 설계되었고, 광학계 요소들은 시스템의 observed source convergence angle을 최소화하도록 설계되었다. 자동측정을 위한 제어모듈과 Micro stepping 시스템이 구축되었고, 광학적 검증 방식을 이용하여 시스템의 측정 정밀도가 조정되었다. 다양한 표면의 광산란 측정에 대한 신뢰성을 평가하기 위해 총 9개의 샘플이 선정되었다. 표면 조건에 따른 광산란의 특징들은 측정된 각각의 샘플에 대한 bidirectional scatter ...

본 연구의 목적은 광산란 측정 범위 제어와 광학적 요소를 편리하게 적용할 수 있는 측정장비를 개발하는 것이다. 측정장비의 기구적 요소들은 3D 모형화와 유한요소해석을 통하여 설계되었고, 광학계 요소들은 시스템의 observed source convergence angle을 최소화하도록 설계되었다. 자동측정을 위한 제어모듈과 Micro stepping 시스템이 구축되었고, 광학적 검증 방식을 이용하여 시스템의 측정 정밀도가 조정되었다. 다양한 표면의 광산란 측정에 대한 신뢰성을 평가하기 위해 총 9개의 샘플이 선정되었다. 표면 조건에 따른 광산란의 특징들은 측정된 각각의 샘플에 대한 bidirectional scatter distribution function을 통해 분석되었으며, 표면에서 일어나는 광산란 의 수학적 모델인 ABg model, Rayleigh-Rice theory 그리고 Generalized Harvey-Shack theory를 이용하여 각각의 bidirectional scatter distribution function 들이 검증되었다. 이 결과 개발된 측정장비는 다양한 표면으로부터 발생하는 광산란 현상을 측정하기에 적합함을 보였다.

Abstract ▼ AI-Helper

The purpose of my work was to develop an in-plane stray light measurement system having the advantage of being easily applicable in both motion control and optical configurations. First of all, mechanical designs were conducted based on both 3D modeling and structural analysis through a finite eleme...

The purpose of my work was to develop an in-plane stray light measurement system having the advantage of being easily applicable in both motion control and optical configurations. First of all, mechanical designs were conducted based on both 3D modeling and structural analysis through a finite element method (FEM). Optical configurations for both the incident source and the detector were designed to achieve minimum observed source convergence angle of the system. The control panel and micro stepping system were programmed for automated measurement. Finally, the designed system was calibrated and aligned. In order to evaluate the system reliability for scatter measurements from various surface conditions, a total of 9 samples were used. Scattering analysis for bidirectional scatter distribution functions of the samples were conducted: rough surface, smooth surface and small particles. ABg model, Rayleigh-Rice theory and Generalized Harvey-Shack theory were used to verify the scatter measurements. The results indicate that the designed system was appropriately developed for measuring scattering phenomena by rough surface, smooth surface and small particles.