최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
반도체 산업 현장에서 반도체 웨이퍼(Wafer) 를 생산하기 위해 고가의 설비들이 사용되어 왔고, 그 고가의 설비를 고장발생 없이 우수한 품질 및 높은 생산성을 유지할 수 있도록 설비를 관리하는 것이 설비 관리자 및 설비 엔지니어의 역할이다.
설비의 생산 증가 및 가동 향상에 따른 품질 문제가 발생하지 않게 하기 위해 정기적으로 PM (Preventive Maintenance)를 진행하게 되며, ...
저자 | 정준원 |
---|---|
학위수여기관 | 아주대학교 공학대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 산업시스템공학과 |
지도교수 | 장중순 |
발행연도 | 2017 |
총페이지 | 41 p. |
키워드 | 반도체설비 모터 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14401103&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.