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NTIS 바로가기간단하고 직접적인 Nd:YAG laser beam을 통해 AZO/glass 표면 위에 Carbon Nano Tube (CNT) 와 α-Fe2O3 입자들을 물리적으로 임플란트하여 표면 아일랜드를 형성했다. 재구성된 표면의 면저항은 아무런 처리도 하지 않은 AZO에 비해 약 3.6 % 정도 증가하였다. Nd:YAG laser beam과 그에 맞는 적합한 물질을 사용했을 때 아주 작은 표면의 손상을 회복할 수 있는 것을 확인하였다. 좋은 전도성 불순물이라고 여겨지는 CNT를 AZO 층 위에 임플란트한 표면 아일랜드의 면저항은 laser beam만 쏘아준 AZO보다 약 1.8 % 정도 면저항이 증가했다. 반면에 절연성 불순물이라고 여겨지는 α-Fe2O3를 AZO 층 위에 임플란트한 표면 아일랜드의 면저항은 laser beam만 쏘아준 AZO보다 약 129 % 정도 면저항이 증가했다. 이 연구는 나노 와이어와 마이크로 회로의 표면 임플란트, 반도체와 광학 소자의 ...
Physically implanted surface islands of Carbon Nano Tube (CNT) and α-Fe2O3 particles have been produced on AZO/glass surfaces by simple and direct Nd:YAG laser beam irradiation. Sheet resistance of the reconstructed surface increased by about 3.6 % over AZO. Minimal surface damage can be repaired by...
저자 | 천수영 |
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학위수여기관 | 연세대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 |
지도교수 | 조수행 |
발행연도 | 2017 |
총페이지 | ix, 46장 |
키워드 | 레이저 임플란트 표면 아일랜드 Nd:YAG laser beam Al:ZnO laser implant surface island |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14450209&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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