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반도체 웨이퍼 검사용 dark-field 조명계의
anamorphic적 접근에 관한 연구
한 우 준
명지대학교 대학원 물리학과
지도교수 김 재 순
반도체 웨이퍼의 회로 집적도가 향상됨에 따라 리소그래피 공정 과정 중 발생하는 결함의 크기 또한 작아지게 되었고, 기존에는 문제가 되지 않았던 굉장히 미세한 크기의 결함 혹은 particle이 치명적인 성능 저하를 야기하게 되었다. 따라서 공정 과정 중 발생하는 결함을 빠르고 정확하게 검출하여 시간당 양품 생산 수율을 향상시키는 것이 반도체 산업의 큰 과제가 되었다.
결함을 검출하는 다양한 방법 중 ...
General approaches to realize higher sensitivity in optical inspection system are using shorter wavelength including UV and higher NA for objective lens. Extreme performances of imaging and illumination systems in a situation of well-matched to each other are inevitable for the further effort on an ...
저자 | 한우준 |
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학위수여기관 | 명지대학교 대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 물리학과 |
발행연도 | 2017 |
총페이지 | 39p. |
키워드 | inspection optical illumination ultra violet anamorphic |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T14575375&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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