본 연구에서는 현재 STI(Shallow Trench Isolation) CMP(Chemical Mechanical Planarization/Polishing) slurry로 각광 받고 있는 CeO2 (Cerium(IV) Oxide) 연마입자의 합성을 위하여 분무열분해를 이용하여 CeO2 마이크로입자를 합성 후 이를 YTZ(Yttrium Stabilized Zirconia) 볼을 사용한 ...
본 연구에서는 현재 STI(Shallow Trench Isolation) CMP(Chemical Mechanical Planarization/Polishing) slurry로 각광 받고 있는 CeO2 (Cerium(IV) Oxide) 연마입자의 합성을 위하여 분무열분해를 이용하여 CeO2 마이크로입자를 합성 후 이를 YTZ(Yttrium Stabilized Zirconia) 볼을 사용한 볼밀로 분쇄하여 나노 크기의 입자를 합성하였다. 유기첨가제인 EG(ethylene glycol)과 CA(citric acid)를 첨가하여 중공성 및 다공성을 갖는 CeO2 마이크로입자를 제조하였으며 첨가량에 따른 특성을 비교하였다. 제조된 나노입자분말의 형태적 특성을 알아보기 위하여 SEM, XRD, TEM 을 통하여 분말의 특성을 분석하였다. 또한 제조된 CeO2 입자의 Ce(III) oxide에서 Ce(IV) oxide로의 전환 정도를 알아보기 위해 XPS 분석을 하였고, YTZ ball을 이용한 습식 볼밀링 과정 후 CeO2 분말에 포함되었을 Zirconium의 검출 여부를 알아보기 위하여 EDX 및 XPS 분석을 하였다.
본 연구에서는 현재 STI(Shallow Trench Isolation) CMP(Chemical Mechanical Planarization/Polishing) slurry로 각광 받고 있는 CeO2 (Cerium(IV) Oxide) 연마입자의 합성을 위하여 분무열분해를 이용하여 CeO2 마이크로입자를 합성 후 이를 YTZ(Yttrium Stabilized Zirconia) 볼을 사용한 볼밀로 분쇄하여 나노 크기의 입자를 합성하였다. 유기첨가제인 EG(ethylene glycol)과 CA(citric acid)를 첨가하여 중공성 및 다공성을 갖는 CeO2 마이크로입자를 제조하였으며 첨가량에 따른 특성을 비교하였다. 제조된 나노입자분말의 형태적 특성을 알아보기 위하여 SEM, XRD, TEM 을 통하여 분말의 특성을 분석하였다. 또한 제조된 CeO2 입자의 Ce(III) oxide에서 Ce(IV) oxide로의 전환 정도를 알아보기 위해 XPS 분석을 하였고, YTZ ball을 이용한 습식 볼밀링 과정 후 CeO2 분말에 포함되었을 Zirconium의 검출 여부를 알아보기 위하여 EDX 및 XPS 분석을 하였다.
In this study, micro-sized CeO2 particles were synthesized by spray pyrolysis, and ball-milled using YTZ(Yttrium stabilized zirconia) ball to change nano-sized particles, which are receiving high attention in STI(Shallow Trench Isolation) CMP(Chemical Mechanical Planarization/Polishing) slurry. EG(e...
In this study, micro-sized CeO2 particles were synthesized by spray pyrolysis, and ball-milled using YTZ(Yttrium stabilized zirconia) ball to change nano-sized particles, which are receiving high attention in STI(Shallow Trench Isolation) CMP(Chemical Mechanical Planarization/Polishing) slurry. EG(ethylene glycol) and CA(citric acid) as organic additives were added to obtain hollow and porous particle during spray pyrolysis, and characteristics of obtained ceria were investigated according to the amount of added organic additives. To investigate the morphological characteristics and structure of the synthesized nanoparticle powders, SEM, XRD and TEM were used. In addition, the amounts of Ce(III) oxide, lattice oxygen, and defect oxide in obtained ceria were calculated by XPS. Zirconium was found by XPS and EDX for the ceria after ball milling process.
In this study, micro-sized CeO2 particles were synthesized by spray pyrolysis, and ball-milled using YTZ(Yttrium stabilized zirconia) ball to change nano-sized particles, which are receiving high attention in STI(Shallow Trench Isolation) CMP(Chemical Mechanical Planarization/Polishing) slurry. EG(ethylene glycol) and CA(citric acid) as organic additives were added to obtain hollow and porous particle during spray pyrolysis, and characteristics of obtained ceria were investigated according to the amount of added organic additives. To investigate the morphological characteristics and structure of the synthesized nanoparticle powders, SEM, XRD and TEM were used. In addition, the amounts of Ce(III) oxide, lattice oxygen, and defect oxide in obtained ceria were calculated by XPS. Zirconium was found by XPS and EDX for the ceria after ball milling process.
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