초록 ▼

용어보기논문에서 용어와 풀이말을 자동 추출한 결과로, 시범 서비스 중입니다. AI-Helper

TiO2의 특성을 조사하기 위해서 마그네트론 스퍼터를 사용하고 30 sccm의 산소를 이용하여 TiO2박막을 증착하였으며, 다양한 온도에서 열처리를 하였다. TiO2박막의 전류를 측정하여 접합특성에 따라 형성되는 쇼키장벽을 조사하였다. 전위장벽은 쇼키장벽에 의존하며, 전류는 TiO2박막의 전위장벽이 증가함에따라서 감소하였다. 110도에서 열처리된 TiO2박막의 전류가 가장 낮았으며, 전하 밀도는 감소하고 저항은 홀이동도가 증가함에 따라서 감소하였다. 전위장벽은 홀이동도에 비례하며, 홀 이동도는 TiO2박막의 절연특성이 우수함에 따라서 증가하였다. 전자홀 결합에 의한 ...

TiO2의 특성을 조사하기 위해서 마그네트론 스퍼터를 사용하고 30 sccm의 산소를 이용하여 TiO2박막을 증착하였으며, 다양한 온도에서 열처리를 하였다. TiO2박막의 전류를 측정하여 접합특성에 따라 형성되는 쇼키장벽을 조사하였다. 전위장벽은 쇼키장벽에 의존하며, 전류는 TiO2박막의 전위장벽이 증가함에따라서 감소하였다. 110도에서 열처리된 TiO2박막의 전류가 가장 낮았으며, 전하 밀도는 감소하고 저항은 홀이동도가 증가함에 따라서 감소하였다. 전위장벽은 홀이동도에 비례하며, 홀 이동도는 TiO2박막의 절연특성이 우수함에 따라서 증가하였다. 전자홀 결합에 의한 공핍층은 전위장벽으로 동작하였다. 이러한 결과는 TiO2박막의 응용을 위한 특성을 개선하는데 유용하게 이용될 수 있다.

Abstract ▼ AI-Helper

To research the characteristics of TiO2, TiO2 thin films were prepared with an oxygen gas flow rate of 30 sccm by the rf magnetron sputtering system, and the as-deposited TiO2 were annealed at various temperatures. It was researched the currents of TiO2 films with Schottky barriers in accordance wit...

To research the characteristics of TiO2, TiO2 thin films were prepared with an oxygen gas flow rate of 30 sccm by the rf magnetron sputtering system, and the as-deposited TiO2 were annealed at various temperatures. It was researched the currents of TiO2 films with Schottky barriers in accordance with the contact’s properties. The potential barrier depends on the Schottky barrier and the current decreases with increasing the potential barrier of TiO2 thin film. The current of TiO2 film annealed at 110 oC was the lowest and the carrier density was decreased and the resistivity was increased with increasing the hall mobility. The potential barrier is proportional to the hall mobility, and the hall mobility increased with increasing at the TiO2 film with more insulator properties. The depletion layer owing to the electron-hole combination played the potential barrier. These results will be improve the characteristics of applications with TiO2 thin films.

주제어