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NTIS 바로가기최근 박막 제조 및 표면 개질을 위하여 다양한 공정들이 사용되고 있다. 하지만 CVD법(chemical vapor deposition), sputtering, evaporation, plasma-etching 등은 진공상태에서 공정이 진행되기 때문에 복잡하며 많은 비용이 든다. 이러한 단점을 보완하기 위하여 ...
저자 | 정재영 |
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학위수여기관 | 아주대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 에너지시스템학과 |
지도교수 | 박명준 |
발행연도 | 2019 |
총페이지 | 47 |
키워드 | 스프레이 증착 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T15095219&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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