본 연구에서는 마이크로렌즈 어레이 중 단일렌즈 타입 3종(원뿔형, 피라밋형, 반구형)과 실린더 타입 2종(실리더형, 삼각 실린더형)에 대하여 3D 설계를 통해 가공경로를 설정하고 펨토초 레이저와 WET 에칭을 통해 1차 형상을 제작하고, CO2레이저의 폴리싱을 활용해 최종 MLA를 제작하여 그 성능을 평가해 보았다. 이 연구가 제안한 방법은 기존에 MLA제작에 대표적으로 사용하던 포토리소그래피 방식이나, 선행된 레이저를 활용하여 글라스 표면에서부터 깊이 방향으로 한 층씩 깍아서 제작하던 방식에 비해 장점을 가진다. 가장 큰 장점은 값비싼 펨토초 레이저를 사용한 가공시간이 기존 방식에 비해 1/4 이상 줄어들었고, WET 에칭 또한 통해 대량의 가공품을 동시에 식각 할 수 있는 장점이 있어 기존 레이저 제작 방식에 비해 가공시간과 원가 절감에 큰 이점이 있을 것이라 생각한다. 그리고 실험에서 선보인바와 같이 원뿔형, 피라밋형, 반구형 등 다양한 형태의 MLA를 ...
본 연구에서는 마이크로렌즈 어레이 중 단일렌즈 타입 3종(원뿔형, 피라밋형, 반구형)과 실린더 타입 2종(실리더형, 삼각 실린더형)에 대하여 3D 설계를 통해 가공경로를 설정하고 펨토초 레이저와 WET 에칭을 통해 1차 형상을 제작하고, CO2레이저의 폴리싱을 활용해 최종 MLA를 제작하여 그 성능을 평가해 보았다. 이 연구가 제안한 방법은 기존에 MLA제작에 대표적으로 사용하던 포토리소그래피 방식이나, 선행된 레이저를 활용하여 글라스 표면에서부터 깊이 방향으로 한 층씩 깍아서 제작하던 방식에 비해 장점을 가진다. 가장 큰 장점은 값비싼 펨토초 레이저를 사용한 가공시간이 기존 방식에 비해 1/4 이상 줄어들었고, WET 에칭 또한 통해 대량의 가공품을 동시에 식각 할 수 있는 장점이 있어 기존 레이저 제작 방식에 비해 가공시간과 원가 절감에 큰 이점이 있을 것이라 생각한다. 그리고 실험에서 선보인바와 같이 원뿔형, 피라밋형, 반구형 등 다양한 형태의 MLA를 3D모델링에 의해 비교적 쉽게 제작 할 수 있으며, 이를 활용하여 1차 가공 단계에서부터 최종 원하는 형태의 MLA 형상과 유사하게 가공 할 수 있음을 확인하였다. 이를 통해 최종 마이크로렌즈 어레이의 품질을 향상시킬 수 있고, 그 가공 시간 및 제작비용을 줄 일 수 있다.
본 연구에서는 마이크로렌즈 어레이 중 단일렌즈 타입 3종(원뿔형, 피라밋형, 반구형)과 실린더 타입 2종(실리더형, 삼각 실린더형)에 대하여 3D 설계를 통해 가공경로를 설정하고 펨토초 레이저와 WET 에칭을 통해 1차 형상을 제작하고, CO2레이저의 폴리싱을 활용해 최종 MLA를 제작하여 그 성능을 평가해 보았다. 이 연구가 제안한 방법은 기존에 MLA제작에 대표적으로 사용하던 포토리소그래피 방식이나, 선행된 레이저를 활용하여 글라스 표면에서부터 깊이 방향으로 한 층씩 깍아서 제작하던 방식에 비해 장점을 가진다. 가장 큰 장점은 값비싼 펨토초 레이저를 사용한 가공시간이 기존 방식에 비해 1/4 이상 줄어들었고, WET 에칭 또한 통해 대량의 가공품을 동시에 식각 할 수 있는 장점이 있어 기존 레이저 제작 방식에 비해 가공시간과 원가 절감에 큰 이점이 있을 것이라 생각한다. 그리고 실험에서 선보인바와 같이 원뿔형, 피라밋형, 반구형 등 다양한 형태의 MLA를 3D모델링에 의해 비교적 쉽게 제작 할 수 있으며, 이를 활용하여 1차 가공 단계에서부터 최종 원하는 형태의 MLA 형상과 유사하게 가공 할 수 있음을 확인하였다. 이를 통해 최종 마이크로렌즈 어레이의 품질을 향상시킬 수 있고, 그 가공 시간 및 제작비용을 줄 일 수 있다.
In this study, we have experimentally fabricated three types of patterned microlens arrays (MLA) (conical, pyramidal, hemispherical) and two types of cylinder type MLA (cylinder type and triangular cylinder type) I tried evaluation. The method proposed in this study was based on the use of a las...
In this study, we have experimentally fabricated three types of patterned microlens arrays (MLA) (conical, pyramidal, hemispherical) and two types of cylinder type MLA (cylinder type and triangular cylinder type) I tried evaluation. The method proposed in this study was based on the use of a laser instead of the conventional photolithography method. The basic shape was formed by using a femtosecond laser and WET etching, and the polishing effect of the glass surface through the CO2 laser was used We have been studying the implementation of the final microlens array. The femtosecond laser machining and WET etch for the first-order fabrication method has a clear advantage over the previous research of other researchers compared to the previous method of abrasion machining from the surface of the glass and shaving in the depth direction This is because the processing time using expensive femtosecond laser is reduced by more than 1/5 compared with the conventional method and WET etching has the advantage of simultaneously etching a large number of workpieces, I think there will be a big advantage to saving.
In this study, we have experimentally fabricated three types of patterned microlens arrays (MLA) (conical, pyramidal, hemispherical) and two types of cylinder type MLA (cylinder type and triangular cylinder type) I tried evaluation. The method proposed in this study was based on the use of a laser instead of the conventional photolithography method. The basic shape was formed by using a femtosecond laser and WET etching, and the polishing effect of the glass surface through the CO2 laser was used We have been studying the implementation of the final microlens array. The femtosecond laser machining and WET etch for the first-order fabrication method has a clear advantage over the previous research of other researchers compared to the previous method of abrasion machining from the surface of the glass and shaving in the depth direction This is because the processing time using expensive femtosecond laser is reduced by more than 1/5 compared with the conventional method and WET etching has the advantage of simultaneously etching a large number of workpieces, I think there will be a big advantage to saving.
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