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NTIS 바로가기차세대 투명 디스플레이의 대형화 및 소비전력 감소 등에 응용하기 위하여 고전도-고투과 다층박막인 ITO-Ag-ITO 투명전극을 본 연구에서는 In Line Magnetron Sputtering 방식을 이용하여 저온공정으로 유리기판상에 증착하였고, Flash Lamp Annealing(FLA)방식으로 어닐링 공정을 완성하였다. 다양한 FLA 조건에서 Ag 두께를 변화시켜 가면서, 전기적, 광학적 특성 변화 정도를 분석하였고 ...
저자 | 조진건 |
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학위수여기관 | 가천대학교 일반대학원 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | IT융합공학과 전자공학전공 |
지도교수 | 조의식 |
발행연도 | 2020 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T15676483&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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