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복합장벽 강유전체 터널접합 소자의 메모리 특성에 대한 연구
Study on the Memory Characteristics of the Composite Barrier Ferroelectric Tunnel Junction Device 원문보기


이요섭 (한국산업기술대학교 일반대학원 나노반도체공학과 국내석사)

초록 ▼
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기존 메모리 소자의 속도 및 집적도의 한계 도달로 인하여 새로운 형태의 저항성 소자인 Ferroelectric Tunnel Junction(FTJ) 소자가 제안되었다. 강유전체 HfO2는 CMOS 공정과 우수한 호환성, 수 nm의 박막에서도 강유전성을 발현하여 FTJ 소자에 적합한 물질로 주목받고 있다. 간단한 ...

주제어

#메모리 특성 

학위논문 정보

저자 이요섭
학위수여기관 한국산업기술대학교 일반대학원
학위구분 국내석사
학과 나노반도체공학과
지도교수 안승언
발행연도 2021
총페이지 105 p.
키워드 메모리 특성
언어 zzz
원문 URL http://www.riss.kr/link?id=T15746710&outLink=K
정보원 한국교육학술정보원

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