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본 논문에서는 기존의 강유전체 터널 접합의 낮은 ON-OFF 전류 비 개선을 위하여 강유전체 내부에 다양한 종류의 유전체를 삽입한 구조의 강유전체 터널 접합 소자 (ferroelectric tunnel junction: FTJ)를 제작하여 전기적 특성을 분석하였다.
그 결과 1 nm 두께의 HfO2 박막을 강유전체 중앙에 삽입한 FTJ에서 가장 높은 ON-OFF 전류 비를 보였으며, 기존의 금속-강유전체-금속 구조 (metal-ferroelectric-metal: ...
저자 | 박준호 |
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학위수여기관 | 아주대학교 |
학위구분 | 국내석사 |
학과 | 전자공학과 |
지도교수 | 김상완 |
발행연도 | 2022 |
총페이지 | 32 |
키워드 | 강유전체 강유전체 터널 접합 ON-OFF 전류 비 tunneling width 2단자 소자 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T16088658&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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