본 연구에서는 배기덕트 내부에 적체된 오염물질을 청소하는 작업자의 작업 환경을 조사하고 위험요인을 고려한 청소작업 자동화 방안을 제시하였다. 반도체 제조 공정에는 다양한 종류의 가스와 화학물질을 사용하고 있으며, 폐가스는 가스상 물질과 입자상 물질의 형태로 배기덕트를 통과하여 공기정화시스템을 통해 대기방지시설에서 법적 배출허용기준 이하로 제거되어 옥외로 배출된다. 배출물질 중 입자상 물질은 배기덕트 내부에 축적되는 현상이 발생되는데 이는 배기 압력을 하락시켜 폐가스가 대기방지시설로 배출되지 못하고 옥내로 확산될 수 있는 문제점을 유발시킬 수 있다.
배기덕트에 적체된 입자상 물질은 배기덕트 말단부에 설치된 ...
본 연구에서는 배기덕트 내부에 적체된 오염물질을 청소하는 작업자의 작업 환경을 조사하고 위험요인을 고려한 청소작업 자동화 방안을 제시하였다. 반도체 제조 공정에는 다양한 종류의 가스와 화학물질을 사용하고 있으며, 폐가스는 가스상 물질과 입자상 물질의 형태로 배기덕트를 통과하여 공기정화시스템을 통해 대기방지시설에서 법적 배출허용기준 이하로 제거되어 옥외로 배출된다. 배출물질 중 입자상 물질은 배기덕트 내부에 축적되는 현상이 발생되는데 이는 배기 압력을 하락시켜 폐가스가 대기방지시설로 배출되지 못하고 옥내로 확산될 수 있는 문제점을 유발시킬 수 있다.
배기덕트에 적체된 입자상 물질은 배기덕트 말단부에 설치된 압력 센서를 통해서 막힘의 정도를 간접적으로 확인이 가능하며, 배기 압력 관리기준 하한값에 도달시 입자상 물질 청소 작업을 실시하고 있다. 작업자는 방독마스크를 포함한 내화학 개인보호구를 착용하고 덕트에 설치된 직경 150mm 점검구를 개방하여 수작업을 통해 입자상 물질을 외부로 꺼내는 작업을 수행하고 있다. 작업 종료 후 보호구 탈의 과정에서 오염물질에 접촉될 수 있고, 작업 공간의 협소 정도에 따라 근골격계 질환에 노출될 수 있으므로 작업자의 안전성 확보가 요구된다.
본 연구에서는 입자상 물질 청소 작업 환경을 조사하여 유해요인을 파악하고 개선 방안을 도출하였다. 첫째, 소음, 분진, 고열, 금속가공유, 화학물질 등에 노출되는 정도를 파악하였고, 분진 및 화학물질 노출 위험성이 있어 개인보호구의 적합성을 평가하여 근로자의 보건 환경을 진단하였다. 둘째, 현장 진단 결과를 근거로 수작업에 따른 화학물질 노출 위험 및 근골격계 질환 발생을 근원적으로 제거하기 위해 청소 작업의 자동화 방안을 설정하였다. 셋째, 덕트 청소 작업의 자동화 방안으로 공기 컨베이어(Air Conveyor) 장치를 이용하여 입자상 물질을 흡입하고, 사이클론(Cyclone)으로 포집하고, 배출구에 흡착필터를 설치하여 입자상 물질 흡입시 배출될 수 있는 가스상 물질을 흡착시키는 휴대용 청소 장치를 개발하였다. 본 장치의 실증 평가를 통해 화학물질 노출을 근원적으로 차단할 수 있어 근로자의 작업 환경을 개선하였다.
본 연구에서는 배기덕트 내부에 적체된 오염물질을 청소하는 작업자의 작업 환경을 조사하고 위험요인을 고려한 청소작업 자동화 방안을 제시하였다. 반도체 제조 공정에는 다양한 종류의 가스와 화학물질을 사용하고 있으며, 폐가스는 가스상 물질과 입자상 물질의 형태로 배기덕트를 통과하여 공기정화시스템을 통해 대기방지시설에서 법적 배출허용기준 이하로 제거되어 옥외로 배출된다. 배출물질 중 입자상 물질은 배기덕트 내부에 축적되는 현상이 발생되는데 이는 배기 압력을 하락시켜 폐가스가 대기방지시설로 배출되지 못하고 옥내로 확산될 수 있는 문제점을 유발시킬 수 있다.
배기덕트에 적체된 입자상 물질은 배기덕트 말단부에 설치된 압력 센서를 통해서 막힘의 정도를 간접적으로 확인이 가능하며, 배기 압력 관리기준 하한값에 도달시 입자상 물질 청소 작업을 실시하고 있다. 작업자는 방독마스크를 포함한 내화학 개인보호구를 착용하고 덕트에 설치된 직경 150mm 점검구를 개방하여 수작업을 통해 입자상 물질을 외부로 꺼내는 작업을 수행하고 있다. 작업 종료 후 보호구 탈의 과정에서 오염물질에 접촉될 수 있고, 작업 공간의 협소 정도에 따라 근골격계 질환에 노출될 수 있으므로 작업자의 안전성 확보가 요구된다.
본 연구에서는 입자상 물질 청소 작업 환경을 조사하여 유해요인을 파악하고 개선 방안을 도출하였다. 첫째, 소음, 분진, 고열, 금속가공유, 화학물질 등에 노출되는 정도를 파악하였고, 분진 및 화학물질 노출 위험성이 있어 개인보호구의 적합성을 평가하여 근로자의 보건 환경을 진단하였다. 둘째, 현장 진단 결과를 근거로 수작업에 따른 화학물질 노출 위험 및 근골격계 질환 발생을 근원적으로 제거하기 위해 청소 작업의 자동화 방안을 설정하였다. 셋째, 덕트 청소 작업의 자동화 방안으로 공기 컨베이어(Air Conveyor) 장치를 이용하여 입자상 물질을 흡입하고, 사이클론(Cyclone)으로 포집하고, 배출구에 흡착필터를 설치하여 입자상 물질 흡입시 배출될 수 있는 가스상 물질을 흡착시키는 휴대용 청소 장치를 개발하였다. 본 장치의 실증 평가를 통해 화학물질 노출을 근원적으로 차단할 수 있어 근로자의 작업 환경을 개선하였다.
In this study, work environment for workers cleaning contaminants accumulated inside the exhaust duct was investigated, and a cleaning automation method using mechanical tool considering risk factors was proposed. Various types of gases and chemicals have been used in the semiconductor manufacturing...
In this study, work environment for workers cleaning contaminants accumulated inside the exhaust duct was investigated, and a cleaning automation method using mechanical tool considering risk factors was proposed. Various types of gases and chemicals have been used in the semiconductor manufacturing process, and waste contaminants pass through exhaust ducts in the form of gaseous and particulate materials, and is removed from exhaust abatement system below the legal emission allowance standard and discharged outdoors. Particulate matter among the discharged materials accumulates inside the exhaust duct, which may cause a problem in that waste gases may not be discharged to exhaust abatement system and may spread inside semiconductor manufacturing building.
The particulate material stacked in the exhaust duct may indirectly check the degree of clogging through a pressure sensor installed at the end of the exhaust duct, and cleaning of the particulate material is performed when the lower limit of the exhaust pressure management standard is reached. The operator wears chemical personal protective equipment, including a gas mask, and opens a 150mm diameter inspection tool installed in the duct to take out particulate matter to the outside through manual work. After completion of the work, it may come into contact with pollutants in the process of removing protective equipment, and it may be exposed to musculoskeletal diseases depending on the degree of narrow work space, so it is required to ensure the safety of workers.
In this study, the work environment for workers cleaning contaminants was investigated to identify harmful factors and derive improvement measures. First, the degree of exposure to noise, dust, high heat, metal sharing, chemicals, etc. was identified, and workers' health environment was diagnosed by evaluating the suitability of personal protective equipment due to the risk of exposure to dust and chemicals. Second, based on the results of the on-site diagnosis, an automation plan for cleaning work was established to fundamentally eliminate the risk of exposure to chemicals and the occurrence of musculoskeletal diseases caused by manual work. Third, as an automation method of duct cleaning, a portable cleaning device was developed that absorbs particulate materials using an air conveyor device, collects them with cyclones, and installs an adsorption filter at an outlet to adsorb gaseous materials that may be emitted when the particulate materials are absorbed. Through the empirical evaluation of this device, exposure to chemical substances can be fundamentally blocked, thereby improving the working environment of workers.
In this study, work environment for workers cleaning contaminants accumulated inside the exhaust duct was investigated, and a cleaning automation method using mechanical tool considering risk factors was proposed. Various types of gases and chemicals have been used in the semiconductor manufacturing process, and waste contaminants pass through exhaust ducts in the form of gaseous and particulate materials, and is removed from exhaust abatement system below the legal emission allowance standard and discharged outdoors. Particulate matter among the discharged materials accumulates inside the exhaust duct, which may cause a problem in that waste gases may not be discharged to exhaust abatement system and may spread inside semiconductor manufacturing building.
The particulate material stacked in the exhaust duct may indirectly check the degree of clogging through a pressure sensor installed at the end of the exhaust duct, and cleaning of the particulate material is performed when the lower limit of the exhaust pressure management standard is reached. The operator wears chemical personal protective equipment, including a gas mask, and opens a 150mm diameter inspection tool installed in the duct to take out particulate matter to the outside through manual work. After completion of the work, it may come into contact with pollutants in the process of removing protective equipment, and it may be exposed to musculoskeletal diseases depending on the degree of narrow work space, so it is required to ensure the safety of workers.
In this study, the work environment for workers cleaning contaminants was investigated to identify harmful factors and derive improvement measures. First, the degree of exposure to noise, dust, high heat, metal sharing, chemicals, etc. was identified, and workers' health environment was diagnosed by evaluating the suitability of personal protective equipment due to the risk of exposure to dust and chemicals. Second, based on the results of the on-site diagnosis, an automation plan for cleaning work was established to fundamentally eliminate the risk of exposure to chemicals and the occurrence of musculoskeletal diseases caused by manual work. Third, as an automation method of duct cleaning, a portable cleaning device was developed that absorbs particulate materials using an air conveyor device, collects them with cyclones, and installs an adsorption filter at an outlet to adsorb gaseous materials that may be emitted when the particulate materials are absorbed. Through the empirical evaluation of this device, exposure to chemical substances can be fundamentally blocked, thereby improving the working environment of workers.
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