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본 논문에서는 유도 결합 플라즈마(ICP) 소스와 축전 결합 플라즈마(CCP) 소스를 결합한 ICP-CCP 일체형 하이브리드 플라즈마 소스를 개발하여 다양한 방전 조건에서 전기적 특성 및 플라즈마 특성에 대한 연구를 하였다.
단일 플라즈마 소스인 ICP와 CCP의 장점은 극대화하고, 단점을 보완하기 위해 안테나 코일과 전극을 병렬로 연결하여 결합하였다. 서로 다른 타입의 플라즈마 소스를 사용하지만 단일 RF 전력 공급기와 ...
저자 | 김관용 |
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학위수여기관 | 한양대학교 대학원 |
학위구분 | 국내박사 |
학과 | 전기공학과 |
지도교수 | 정진욱 |
발행연도 | 2022 |
총페이지 | vii, 118 p. |
키워드 | 전기공학 |
언어 | kor |
원문 URL | http://www.riss.kr/link?id=T16365991&outLink=K |
정보원 | 한국교육학술정보원 |
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