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NTIS 바로가기요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.24 no.6, 1987년, pp.543 - 552
김광호 (부산대학교 무기재료공학과) , 천성순 (한국과학기술원 재료공학과)
The effects of deposition variables on SnO2 CVD were investigated for SnCl4+O2 reaction at 300∼700
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