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NTIS 바로가기전자공학회논문지 = Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics, v.27 no.11, 1990년, pp.62 - 68
주병권
(韓國科學技術硏究院 光
On the basis of standard Si processing, the miniaturized piezoresistive-type Si pressure sensor with a chip size of
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