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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.24 no.4, 1991년, pp.215 - 221
김진수 (아주대학교 재료공학과) , 안재현 (아주대학교 재료공학과) , 고경현 (아주대학교 재료공학과) , 오수기 (아주대학교 물리학과)
Microstructure evolution during low temperature vapor deposition exhibits wel-developed columnar structure mainly owing to geometrical shadowing effect of surface roughness. It is concluded that this structure is concided with many theoretical models suggested so far. In case of aluminum nitride fil...
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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