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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.1 no.1, 1992년, pp.106 - 114
김경중 (한국표준과학연구원 표면분석실) , 문대원 (한국표준과학연구원 표면분석실) , 이광우 (한국표준과학연구원 표 면분석실)
여러 조성의 Co-Ni 합금과 Au-Cu 합금에 대하여 XPS와 SIMS 분석방법을 사용하 여 표면분석의 정량화 연구를 수행하였다. XPS의 경우 Co-Ni 합금에 대하여는 수정 없이 고순도 시료만으로 1~2% 상대오차 범위 내에서 정량분석이 가능하였고, Au-Cu 합금의 경 우에는 고순도 시료만을 표준시료로 사용하여서는 정량 분석이 불가능하였고 실험적인 수정 인자를 사용한 경우 1~2% 상대오차로 정량분석이 가능하였다. Au-Cu 합금의 경우 여러 조성이 표준시료가 없는 경우 이론적인 수정인자를 사용하는 경우 10%의 상대오차로 정량 분석이 가능하였다. Co-Ni 합금을 SIMS 분석하였을 때 Co와 Ni의 이차이온 세기의 비가 넓은 농도 범위에서 각 성분의 농도의 비와 직선관계를 가져 SIMS에 의한 합금의 정량분석 이 가능하였다. 또한 VAMAS-SCA Japan Project의 XPS 공동분석의 예비 결과도 주어져 있다.
Abstract-Quantitative surface analysis of Co-Ni and Au-Cu alloys by XPS and SIMS was studied. For Co-Ni alloy, quantitative XPS analysis could be done within 1-2% relative error with pure element standards without any correction. For Au-Cu, quantitative XPS analysis was not possible without any corr...
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