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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.1 no.1, 1992년, pp.115 - 120
문환구 (삼성전자 반도체 연구소) , 김동원 (삼성전자 반도체 연구소) , 한철현 (삼성전자 반도체 연구소) , 김영남 (삼성전자 반도체 연구소) , 심태언 (삼성전자 반도체 연구소)
SIMS is an indispensable surface analysis instrument in trace element depth profiling because of high detection sensitivity and excellent depth resolution, however, it requires a standard sample to do quantitative analysis due to matrix effect depending on the species of impurities and sample matric...
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