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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.1 no.2, 1992년, pp.302 - 313
Troup, A.P. (Edwards High Vaccum International)
10-9Torr 정도의 압력에서 작동하는 반도체 공정 도구들을 펌프하기 위해 주로 사용되는 기술들을 살펴보고, 이 분야에서 진공을 만드는 기술적 방향에 대해 언급한다. 특히, Roots, Claw, Roots/claw 펌프의 작동원리와 자기 부양식 turbomolecular 펌프를 다루었다.
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