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$10^{-10}$ torr까지의 초고진공 표준 확립
Establishment of Ultrahigh Vacuum Standard down to $10^{-10}$ torr Range 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.2 no.2, 1993년, pp.139 - 144  

홍승수 (한국표준과학연구원 진공연구실) ,  임재영 (한국표준과학연구원 진공연구실) ,  박재홍 (한국표준과학연구원 진공연구실) ,  신용현 (한국표준과학연구원 진공연구실) ,  이철로 (한국표준과학연구원 진공연구실) ,  정광화 (한국표준과학연구원 진공연구실)

초록
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동적교정방법을 이용하여 $10^{-7}~10^{-10}$torr 영역에서 교정 가능한 초고진공 표준기를 제작하였다. $10^{-6}~10^{-9}$torr L/s 영역의 극미세 유량은 고진공 표준기에 porous plug를 연결하여 발생 제어시켰으며 일정한 배기속도를 유지함이 알려져 있는 refrigerator type cryopump를 이용하여 $3{\times}10^{-11}$torr의 base pressure를 얻을 수 있었다. 이 초고진공 표준기를 이용하여 두 개의 extractor gauge와 자체 제작한 nude 이온게이지들을 교정하고 그 직선성 및 재현도를 살펴보았다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The dynamic calibration system which can calibrate the ultrahigh vacuum pressure down to $10^{-10}$torr has been fabricated. The production and control of minute flow of $10^{-6}~10^{-9}$torr L/s range is done by a porous plug connected to the high vacuum standards system. The ...

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