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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.3 no.4, 1994년, pp.457 - 465
김윤택 (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀) , 노영수 (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀) , 이홍식 (한국전기연구소 플라즈마응용 연 구팀) , 황기웅 (한국전기연구소 플라즈마응용 연구팀)
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