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NTIS 바로가기電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A, v.31A no.5, 1994년, pp.113 - 120
이영주 (서울대학교 전자공학과) , 전국진 (서울대학교 전자공학과) , 부종욱 (금성사 중앙연구소) , 김성태 (금성사 중앙연구소)
Silicon flow sensor that can detect the velocity and direction of air flow was designed and fabricated by integrated circuit process and bulk micromachining technique. The flow sensor consists of three-layered dielectric diaphragm, a heater at the center of the diaphragm, and four thermopiles surrou...
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