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$SiN_x$유전 보호막이 이동통신용 고주파 SAW필터의 특성에 미치는 영향
The Effects of $SiN_x$ Dielectric Thin Films on SAW Properties of the High Frequency SAW Filter for Cellular Communication System 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.5 no.6, 1995년, pp.650 - 656  

이용의 (서울대학교 공과대학 무기재료공학과) ,  이재빈 (서울대학교 공과대학 무기재료공학과) ,  김형준 (서울대학교 공과대학 무기재료공학과) ,  김영진 (경기대학교 공과대학 재료공학과) ,  양형국 (전자부품종합기술연구소 센서기기기연구팀) ,  박종철 (전자부품종합기술연구소 센서기기기연구팀)

초록
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이동통신용 고주파 표면탄성파(SAW) 필터를 36$^{\circ}$Y-X LiTaO$_3$압전기판과 IIDT 전극구조를 이용하여 제작하였다. 제작한 SAW 필터의 중심주파수는 주파수 응답 특성 측정 결과 설계한 중심주파수보다 낮아짐이 관찰되었다. 이러한 단점을 보완하고 미세한 주파수의 조절을 가능하게 하기 위해 SiN$_{x}$ 유전박막을 보호막으로 증착하여 이에 따른 주파수 특성 변화를 관찰하였다. SAW파장에 대한 SiN$_{x}$ 유전 박막의 두께비를 증가시킬수록 SAW 진행 속도가 증가하여, 제조한 필터의 중심주파수를 높게 이동시킬 수 있었다. 그러나 유전박막의 두께가 증가할수록 필터의 삽입손실이 증가하는 문제점이 존재하였다.

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High frequency SAW filters for cellular communications were fabricated by metallizing 36$^{\circ}$Y-X LiTaO$_3$piezoelectric substrate with IIDT type electrodes. It was found that the center frequency of the filter was lowered than as designed. In order to overcome such a drawb...

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