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$SnO_{2}$과 Pt를 첨가한 $WO_{3}$후막센서의 제조 및 NOx감응 특성
Fabrication and NOx sensing Characteristics of $WO_{3}$ doped with $SnO_{2}$ and Pt Thick Film Devices 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.5 no.5, 1996년, pp.47 - 54  

이대식 (경북대학교 전자전기공학부) ,  한상도 (한국에너지기술연구소) ,  박기배 (한국에너지기술연구소) ,  심규성 (한국에너지기술연구소) ,  이덕동 (경북대학교 전자전기공학부) ,  손영목 (한국에너지기술연구소)

초록
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$WO_{3}$모물질에 Pt와 $SnO_{2}$ 활성촉매를 첨가하여 수 ppm정도의 NOx를 감지할 수 있는 후막형 NOx센서를 제조하였다. 센서의 최대 감도는 $250^{\circ}C$정도에서 얻을 수 있었으나, 회복속도를 고려하여 $330^{\circ}C$에서 특성실험을 실시하였다. 기존의 $WO_{3}$를 사용한 것보다 감도, 반응 및 회복 속도가 개선되었고 또한 뛰어난 선택성과 기체흐름에 대한 안정성을 보여주었다. 농도변화에 대한 선형성이 우수하게 나타남으로 계측기에 응용가능성을 보여주었다.

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Highly sensitive $WO_{3}$ doped with $SnO_{2}$ and Pt thick-film sensors for NOx gas were fabricated. The sensors had a maximum sensitivity at operating temperature of $250^{\circ}C$, but the optimum operation temperature, considering recovery desorption time, was at...

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