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NTIS 바로가기요업학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.34 no.10, 1997년, pp.1021 - 1026
이재복 (한양대학교 무기재료공학과) , 오세훈 (한양대학교 무기재료공학과) , 홍경일 (한양대학교 무기재료공학과) , 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
RuO2 thin film has reasonably good conductivity and stiffness and it is thought to substitute for the cantilever beam made up of Pt and Si3N4 double layers in microactuators. Therefore, anisotopic Si etching was performed using RuO2 thin film as a mask layer in 25 wt. % TMAH water solution. In the...
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