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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.6 no.1, 1997년, pp.44 - 49
남창길 (울산대학교 재료공학과) , 최승우 (울산대학교 재료공학과) , 천희곤 (울산대학교 재료공학과) , 조동율 (울산대학교 재료공학과)
AIN thin films were deposited on silicon and glass substrates by sputtering Al target and introducing mixed gases of argon and nitrogen into reactive RF magnetron sputter. The substrate was not heated to protect the PC (polycarbonate) substrate and the micro-sized pregroove morphology on the surface...
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