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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.6 no.3, 1997년, pp.255 - 262
최치규 (제주대학교 물리학과) , 강민성 (제주대학교 물리학과) , 박형호 (연세대학교 세라믹공학과) , 염병렬 (한국전자통신연구원) , 서경수 (한국전자통신연구원) , 이종덕 (경상대학교 물리학 과) , 김건호 (경상대학교 물리학과) , 이정용 (한국과학기술원)
Titanium nitride (TiN) films were prepared by reactive sputter deposition in mixed gas of Ar+
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