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RF 스퍼터링에 의해 제조된 Li-Ni-O 박막의 전기변색 특성
RF Sputtered Lithium Nickel Oxide Films and Their Electrochromism 원문보기

대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society, v.41 no.11, 1997년, pp.594 - 599  

Kim, Young-Il (서울대학교 자연과학대학 화학과.분자촉매연구센터) ,  Kim, Bae-Whan (서울대학교 자연과학대학 화학과.분자촉매연구센터) ,  Choy, Jin-Ho (서울대학교 자연과학대학 화학과.분자촉매연구센터) ,  Campet, Guy (프랑스 보르도응축상물질연구소.보르도 제1대학) ,  Park, Nam-Gyu (프랑스 보르도응축상물질연구소.보르도 제1대학) ,  Portier, Josik (프랑스 보르도응축상물질연구소.보르도 제1대학) ,  Morel, Bertrand (프랑스 보르도응축상물질연구소.보르도 제1대학)

초록
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RF 스피터링법을 써서 $Li_{2x}Ni_{1-x}O$ 박막을 제조하였으며, 그 과정에서 기판의 온도$(50/230^{\circ}C)와$ 분위기 $(Ar/O_2)$를 변수로써 막의 미세구조를 조절하였다. 투과전자현미경을 이용한 막 구조 분석에 의해 낮은 기판 온도와 $O_2$ 조건에서 막의 조성입자가 작아짐을 관찰하였고, $50^{\circ}C/O_2$ 하에서 얻이진 $Li_{2x}Ni_{1-x}O$ 박막은 약 $80\AA$ 크기의 입자로 이루어져 있었다. 전기화학적 조건 하에서 $Li_{2x}Ni_{1-x}O$ 박막의 변색현상을 조사한 결과, 박막의 미세구조 발달에 의해 $Li^+$ 이온의 가역적 수용량이 증가하고, 결과적으로 전기변색 기능이 향상됨을 알 수 있엇다. 50 $^{\circ}C/O_2$ 하에서 얻어진 170 nm 두께의 $Li_{2x}Ni_{1-x}O$ 박막은 30 mC/$cm^2$$Li^+$ 이온 수용력과 함께 약 1.3의 흡광밀도(OD)를 나타내었다.

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Lithium nickel oxide ($Li_{2x}Ni_{1-x}O$) thin films have been prepared by the RF sputtering of lithiated nickel oxide target, where the film microstructure was controlled by the sputtering atmosphere $(Ar/O_2)$ and the substrate temperature ($T_s=50/230^{\circ}C$). ...

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