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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.7 no.4, 1998년, pp.314 - 319
김상섭 (순천대학교 재료·금속공학과) , 임태홍 (생산기술연구원) , 박용범 (순천대학교 재료·금속공학과)
TiN thin films were deposited on SKD 61 steel substrates by reactive sputtering under various deposition conditions, and subsequently their growth characteristics and properties were studied. Deposition rate was proportionally increased with total gas pressure as well as RF input power, while the in...
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