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무열분해법으로 증착한 $SnO_2$ 박막의 방향성과 결함구조
Orientation and Defects of $SnO_2$ Films Deposited by Spray Pyrolysis 원문보기

태양에너지 = Solar energy, v.18 no.2, 1998년, pp.137 - 144  

김태희 (안동대학교 공과대학 재료공학부) ,  박경봉 (안동대학교 공과대학 재료공학부)

초록
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분무열분해법으로 $SnO_2$ 박막을 증착하여 기판표면의 온도에 따른 방향성과 결함을 조사하였다. 기판의 온도가 $300^{\circ}C$일 때부터 결정성 박막이 증착되었다. 기판의 온도가 $400^{\circ}C$까지 증가함에 따라 (200)면이 우선적으로 성장하였으며 결정립의 크기도 증가하였다. Sb를 첨가하지 않은 박막은 Sn과 O로 구성되어 있으며 산소공위를 포함한다. Sb를 첨가한 박막은 산소공위 외에 Sn 위치와 O 위치에 각각 치환된 Sb와 Cl을 가진다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Tin oxide films deposited by spray pyrolysis have defects and preferred orientations according to the temperature of substrate. The growth of crystalline deposits began at the substrate temperature of $300^{\circ}C$. With increasing substrate temperature the plane (200) groved preferentia...

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