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다층구조를 갖는 다공질규소층의 제작과 이의 물성
The study of the fabrication and physical properties of porous silicon multilayers 원문보기

한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.9 no.6, 1999년, pp.597 - 600  

김영유 (공주대학교 물리학과) ,  전종현 (공주대학교 물리학과) ,  류성주 (공주대학교 물리학과) ,  이영섭 (공주대학교 물리학과) ,  이기원 (공주대학교 물리학과) ,  최봉수 (대전산업대학교 정보통신컴퓨터공학부)

초록
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단결정규소 웨이퍼를 15% HF-에탄올 용액에서 양극 산화시켜 다공질규소를 얻는 과정에서 전류밀도와 에칭시간에 따라 굴절률이 주기적으로 변하는 다층의 다공질규소층(porous silicon multilayers)을 구현하였다. 그리고 다층의 다공질규소층(I), 다공질규소 발광층, 또 다른 다층의 다공질규소층(II)의 순으로 구성된 porous silicon microcavity(PSM)를 제작하고 그 물성을 조사하였다. PSM 상하에 위치한 다층의 다공질규소층의 단면을 AFM(Atomic Force Microscope)으로 조사한 결과 고굴 절률과 저굴절률이 주기적으로 교차하는 층이 균일하게 형성되었으며, 중앙의 다공질규소 발광층도 균일하게 나타났다. 다층의 다공질규소층 및 다공질규소 발광층의 두께를 각각 실효파장의 1/4배 및 2배가 되도록 하였을 때 특정파장의 필터로 쓰일 수 있는 브래그 반사경(Bragg reflector)의 특성이 나타났다. 또한 PSM의 발광 스펙트럼은 그 반치폭이 현저히 감소하고 발광의 세기가 크게 증가되는 경향을 보였다.

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By periodically varying the current density and etching time during anodic oxidation of crustalline silicon wafers in 15% HF-ethanol solution, we obtained porous silicon multilayers which have periodically varying refractive index. We fabricated the porous silicon microcavity (PSM) which consist of ...

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