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NTIS 바로가기대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society, v.43 no.4, 1999년, pp.412 - 417
정혜영 (LG실트론연구소) , 김영훈 (LG실트론연구소) , 유학도 (LG실트론연구소) , 이상학 (경북대학교 자연과학대학 화학과)
The analytical results obtained by microwave digestion and acid digestion methods for sample pretreatment to determine metal impurities in silicon wafer by inductively coupled plasma-mass spectrometry (ICP-MS) were compared. In order to decompose the silicon wafer, a mixed solution of
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