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박막 히터형 유량센서의 온도보상
Temperature Compensation of Hot-film Flow Sensor 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.9 no.4, 2000년, pp.268 - 273  

김형표 (상주대학교 전자전기공학부)

초록
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본 논문은 박막 히터형 유량센서의 온도보상을 위해 초기 불평형 전압을 이용한 새로운 온도보상 방법을 사용하였다. 온도보상을 위해서 본 논문에서는 휘스튼 브릿지의 비를 다르게 하는 방법으로 오픈루프에서 초기 불평형 전압을 온도에 따라 나타낸 그래프를 이용하여 센서 회로의 저항값을 구하는 방법을 사용하였다. 공기 온도가 $-20^{\circ}C{\sim}120^{\circ}C$ 범위에서 온도 보상을 실시한 결과 ${\pm}1%$이내의 온도 오차가 발생하여, 정밀한 박막 히터형 유량 센서를 제작할 수 있었다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper represents a hot-film flow sensor which is compensated by a noble temperature compensation method using the initial unbalanced voltage. The resistance value of the sensor is determined by using the graph of the initial unbalanced voltage of an open-loop circuit against the air temperature...

AI 본문요약
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  • 그림 3의 오픈 루프 회로에서 임의의 일정한 유체온도에서 Rf 를 정의하고, R1은 임의의 값일 때 Vd 전압을 온도에 대한 수식으로 전개하면 식(2)와같다. 여기서 입력 전압Vcc는 계산을 편리하게 하기 위해 IV로 가정하였다.
  • 여기서 A와 B 는 소자 재료에 의해서 정해지는 상수이고, ΔT는 즉정 소자의 온도와 유체 온도와의 차이이다. 이때 A와 B는 유체 온도에 무관하다고 가정한다. 가열된 측정소 자가 유체 흐름으로 인해 냉각되어 손실되는 열량을 다시 공급하기 위해, 그림 1과 같이 피이드백 회로를 이용하여 전력을 증가시키면 측정 소자는 다시 가열되어 냉각되기 전의 온도로 상승하게 된다.
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