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NTIS 바로가기전기화학회지 = Journal of the Korean Electrochemical Society, v.3 no.1, 2000년, pp.19 - 24
한상용 (홍익대학교 금속 재료공학과) , 최재식 (홍익대학교 금속 재료공학과) , 김용수 (홍익대학교 금속 재료공학과) , 박성계 (홍익대학교 금속 재료공학과) , 노재상 (홍익대학교 금속 재료공학과) , 김형준 (홍익대학교 금속 재료공학과)
It is increasingly necessary to use poly-Si n's as high resolution and integration of Tn for LCD. Excimer Laser Crystallization (ELC) of a-Si is mainly used as a low temperature process. But the ELC method for the fabrication of poly-Si has the eruption problems associated with hydrogen in the a-Si ...
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