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수직자기이방성 NdFeB 박막자석의 자기특성
Magnetic properties of NdEeB thin films with perpendicular anisotropy 원문보기

韓國磁氣學會誌 = Journal of the Korean Magnetics Society, v.10 no.6, 2000년, pp.280 - 294  

김만중 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ,  유권상 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ,  양재호 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ,  김윤배 (한국과학표준연구원 전자기 표준부 자기그룹) ,  김택기 (충남대학교 공과대학 금속공학과)

초록
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RF-DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 5$\times$$10^{-3}$ Torr의 알곤 가스 분위기에서 [(300nm)Ta/(500nm)NdFeB/(300nm)Ta] 영구자석 박막을 제조한 후 이의 미세구조 및 자기특성을 조사하였다 650-75$0^{\circ}C$로 가열된 Si 기판위에 성막한 [Ta/ NdFeB/Ta] 박막은 수직자기이방성과 함께 우수한 경자기특성을 나타내었으며, 특히 기판온도 $650^{\circ}C$와 $700^{\circ}C$에서 제조된 박막은 막면에 수직한 방향으로 각각 20 MGOe의 최대자기에너지적과 18.9 kOe의 큰 고유보자력을 나타내었다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

[(300nm)Ta/(500nm)NdFeB/(300nm)Ta] thin films were deposited at 5 mTorr Ag gas pressure by RF-DC magnetron sputtering, and their magnetic properties were investigated. The [Ta/NdFeB/Ta] films deposited on heated Si substrates showed high perpendicular anisotropy and excellent hard magnetic propertie...

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