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[국내논문] 질소가스 분위기의 저진공으로 증착된 Au-black의 적외선 흡수도
Infrared absorbance of the Au-black deposited under nitrogen gas-filled low vacuum condition 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체, v.37 no.2 = no.272, 2000년, pp.13 - 21  

오광식 (경북대학교 전자전기공학부) ,  김동진 (경북대학교 전자전기공학부) ,  김진섭 (인제대학교 전자정보통신공학부) ,  이정희 (경북대학교 전자전기공학부) ,  이용현 (경북대학교 전자전기공학부) ,  이재신 (울산대학교 재료금속공학부) ,  한석용 (한국전자(주) 반도체연구센터)

초록
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장파장 적외선 흡수체로 응용하기 위한 Au-black을 질소가스 분위기의 저진공에서 Au를 증발원으로 하여 제조하였고, 증착조건에 따른 Au-black의 미세구조 분석, 적외선 흡수도 측정 및 패턴형성 실험을 통해 Au-black의 특성을 조사하였다. 단위면적당 질량이 약 600 $\mu\textrm{g}$/㎝/sup 2/이고, 챔버압력이 약 1 Torr이상인 증착조건으로 제조된 Au-black에서 적외선이 포획되는 높은 밀도의 미세공동이 존재하였고, 이 Au-black의 적외선 흡수도는 3∼14 $\mu\textrm{g}$의 파장범위에서 대체로 90%정도였다. 약 900 $\mu\textrm{g}$/cm/sup 2/이하의 단위면적당 질량을 갖는 Au-black의 경우 감광액 lift-off 공정에 의한 패턴형성이 가능하였다. 적외선 흡수도, 열용량 및 패턴형성을 고려할 매 적외선 흡수체로서의 Au-black을 제조하기 위해서는 챔버압력이 약 1 Torr이고, 단위면적당 질량이 약 600 $\mu\textrm{g}$/cm/sup 2/인 증착조건이 가장 적합하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Au-black for the application of the long wavelength infrared absorber has been prepared by evaporating Au under nitrogen gas-filled low vacuum condition. Characteristics of the deposited Au-black were carefully investigated through structural analysis, infrared absorbance measurement, and patterning...

참고문헌 (12)

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  12. E. Wagner, R. Dandliker, and K. Spenner, Sensors-Volume 6. Optical Sensors, VCH, pp. 203-204, 1991 

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