최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기산학기술성공학회논문지 = Journal of the Korean Academic Industrial Society, v.1 no.2, 2000년, pp.33 - 40
서동남 (한서대학교 재료공학과) , 하종필 (한서대학교 재료공학과) , 정미정 (㈜신성 ENG 기술연구소) , 문인호 (㈜신성 ENG 기술연구소) , 조상준 (㈜신성 ENG 기술연구소) , 김익진 (한서대학교 재료공학과)
The present invention relates to a absorption rotor for removed VOC(volatile organic compound) and humidity in semiconductor clean room system. A absorption rotor medium is made by NaX zeolite and TS-1 zeolite formed on a honeycomb matrix of ceramic papers. The crystallization of NaX zeolite was hyd...
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.