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[국내논문] 반도체 클린룸용 세라믹 Rotor 흡착제 개발
The Development of Absorption Elements of Ceramic Rotors for the Semiconductor Clean Room System 원문보기

산학기술성공학회논문지 = Journal of the Korean Academic Industrial Society, v.1 no.2, 2000년, pp.33 - 40  

서동남 (한서대학교 재료공학과) ,  하종필 (한서대학교 재료공학과) ,  정미정 (㈜신성 ENG 기술연구소) ,  문인호 (㈜신성 ENG 기술연구소) ,  조상준 (㈜신성 ENG 기술연구소) ,  김익진 (한서대학교 재료공학과)

초록
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본 연구는 반도체 크린룸에서 VOC(volatile organic compound)과 수분을 제거하기 위한 흡착로타에 관한 것이다. 흡착로타는 세라믹 페이퍼 허니컴 기질에 NaX 제올라이트와 TS-1 제올라이트로 만들어졌다. NaX 제올라이트는 수열합성법으로 합성되어졌으며, NaX 제올라이트 결정(2∼3 ㎛)을 seed로 합성 조성에 3∼5 wt%까지 첨가하여 5 ㎛의 균일한 NaX 제올라이트를 성장시켰다. Seed의 첨가는 seed를 첨가하지 않은 합성용액과 비교하여 결정의 크기가 크며, 균일한 NaX 제올라이트 결정을 성공적으로 합성하였다. TS-1 제올라이트는 초기 반응액의 pH를 변화시켜 합성하였다. 반응물의 pH는 10.0에서 11.5 까지의 범위를 가지며, PH 10.4에서 큰 기공(8∼10 (equation omitted))을 가진 TS-1 제올라이트(ETS-10)가 합성되는 반면 pH가 11.5에서는 작은 기공 (3∼5 (equation omitted))을 갖는 TS-1 제올라이트(ETS-4)가 합성되었다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The present invention relates to a absorption rotor for removed VOC(volatile organic compound) and humidity in semiconductor clean room system. A absorption rotor medium is made by NaX zeolite and TS-1 zeolite formed on a honeycomb matrix of ceramic papers. The crystallization of NaX zeolite was hyd...

Keyword

AI 본문요약
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제안 방법

  • 본 연구에 시 수열합싱 법 Q로 합성 퇸 NaX 제올라이트의 생성 뫂 비는 0.9-J Q'2Na£> - Al2Os - 2.5+0.5310, YILO 로 지밀도의 세라믹 네이퍼로 이루어진 허니컴 구玉에물유리를 결합제로 사용하여 제습기 로타에 코팅하여적응하기에느 너무 미세(0.01 〜0.5 卩m)하므로 합성된 NaX 제올라이트를 seed로 시-용하여 NaX 제올 파이트의 길 정크기를 5-10 pm로 성장시키며, 반응시간의 번화에 따른 상전이와 결정 성장의 문제를 규명하기 위하여 연 子를 진행하였고, 또한 TS-1 제올라이트 결정화에엉향을 미치는 인자로서 반응물의 조싱, 반응온도 및 시간에 의헤 기공의 크기外 3-5 A, 8~10 A인 결정성 TS-1 제옴라이브를 함싱하고, 초기반응액의 pH 변.화에의한 결정화와 불리적, 화학적 득성을 살펴보있.
  • 투입 이 완료되면 약 10분간 교반한 후 반응뭄을 Teflon 용기에 넣고 테프론이 코팅된 autoclave에 닢어 90°C로조정된 건소기에서 일정한 반응시간 동안 자싱 아려하에시 반응음 진행할 수 있도록 하였匸卜 반응이 종결된후 얻어진 생성볼은 증류수(pH =3)를 이용하이 세척및 여과 후 10CTC의 진공건조기에서 24시간 건조하였다.
  • 알카리와 칼륨원으로는 각각 NaOH(TED【A)와 KF (BDH)를 사용하였다. 반응액의 pH 조절에 시-용된 산은 염산(Junsei Chem. Co.)을 이용하여 본 실험실에서 농도를 20%로 조절하여 사용하였다. 실험에 시.
  • 이 렇게 얻어 진 균일상의 용액음 동일한 양으로 나눈 뒤 20% 염산음 처가하이 pH-> 소절하였다. 합성뇐 TS-1 세을라이트는 얼적 안정성의 실험을 위하여 전기로에서 2시간 동안 50(R:로 열처리하였다.
  • 관찰하있으니. seed의 양과 반응시간의 변화에 따른 생성상을 분석하기 위헤서 X-선 회절분석(XRD)을 행하였나. 이때 측정조건은 CuKa target, Ni filler를 사음하여 2。값 3~ 40°릍 행하였다.
  • 이는 셜징화 시간에 따라 NaX가 NaP 제올다이브 상으宇一 상선이에 의한 싯으로사료뇐다. Seed의 첨7卜릎 3, 10, 15%로 증가시 킴 에 따라 결정화 종료시간이 24, 16, 12시간으로 단축되었으며. seed의 물리적 저촉에 의한 직집저인 싱징으로 인한 4 “m 이상의 NaX 체읍라이트 걸정과 자체 헤생성에의해 셍성되어진 1 fjm 범위의 NaX 제올라이트 결정이공존하고 있匸}.
  • 함성된 Zeolite의 횡상을 알아보기 위헤 주사전사현미깅(SEM)을 사용하여 각각의 미세구조를 관찰하있으니. seed의 양과 반응시간의 변화에 따른 생성상을 분석하기 위헤서 X-선 회절분석(XRD)을 행하였나.

대상 데이터

  • , Ltd.)와 colloidal silica(40 wt%, Aldrich chemical Co.., Inc.)이며, 부족분의 NazO량음 보충하기 위헤서는 NaOl-I (Yakuri Pure Chemical Co., Ltd.)를 사용하였匸h 또한 결징성 장음 족진하기 위해 사용한 seed의 크기는 2〜3 户m로 미세하고, 결정크기가 균일한 NaX 제을라이드를 사용하였다. NaX 제올라이卓 합성에 필요한 양의 NaAlOi, colloidal silica, NaOH를 각각 일정 량의 증류수를 이용하여 완벽하게 이온화시킨 후 여과지를 이용하여 여과를 진행한디-.
  • 사용된 출발원료는 다음과 같다. 티타늄 산화 몰의 원료는 TiC13(Kanto Chem. Co. 20%)를 사용하였으버, 실리카 소스로는 sodium silicate solution(Junsei Chem. Co)을 사용하였다. 알카리와 칼륨원으로는 각각 NaOH(TED【A)와 KF (BDH)를 사용하였다.
  • Co)을 사용하였다. 알카리와 칼륨원으로는 각각 NaOH(TED【A)와 KF (BDH)를 사용하였다. 반응액의 pH 조절에 시-용된 산은 염산(Junsei Chem.
  • 0인 겅우 XI0 결과와 마잔가시로 비징실의 무정형 힝데른 보어■지고 있나. XRD 눈■석견과 순수한 ETS 10(8-10 A)의 특성 피크믁 보여주었년 1Q4의 경우에서이상의 균.일한 M기의 정팔면체의 정점이 삼린 형상의 설정들이 보여지고있다- 한편 초기 반응물의 pH기.
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