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DDMS를 이용한 MEMS 구조물의 새로운 점착방지 방법
A new Method of Stiction Reduction for MEMS Structures Using DDMS 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체, v.37 no.6 = no.276, 2000년, pp.9 - 16  

김봉환 (서울大學校 電氣工學部) ,  오창훈 (서울大學校 電氣工學部) ,  전국진 (서울大學校 電氣工學部) ,  오용수 (삼성종합기술원)

초록
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본 논문은 다결정실리콘의 점착방지를 위한 새로운 화학적 방법에 의한 코팅방법을 제시하였고 그 특성을 확인하였다. 이 코팅방법은 최근에 사용되어지고 있는 Octadecyltrichlorosilane (OTS) 나 1H,1H2H,2H-perfluorodecyltrichlorosilane (FDTS) 같은 Monoalkyltrichlorosilanes (MTS, $RSiCl_3$) 계열의 물질 대신에 Dialkyldichlorosilanes (DDS, $R2SiCl_2$) 계열의 물질을 이용하여 다결정실리콘의 표면을 바꾸는 방법이다. 이 DDS 계열의 화학물질 중에서 Dichlorodimethylsilane (DDMS, $(CH_3)2SiCl_2$)는 쉽게 구할 수 있고 다결정실리콘의 표면을 친수성에서 소수성으로 간단하고 빠른 방법으로 바꿀 수 있는 장점이 있다. 본 논문에서는 DDMS 코팅된 다결정실리콘으로 만들어진 외팔보를 3 mm길이까지 제작하여 점착현상이 전혀 일어나지 않았음을 확인하였고 이를 실제 구조물에 적용하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In order to achieve stiction-free polysilicon surfaces, we have suggested a new class of chemical coating precursors and confirmed their excellent characteristics. The strategy is to adopt dialkyldichlorosilanes (DDS, $R2SiCl_2$) instead of monoalkyltrichlorosilanes (MTS, $RSiCl_3$

참고문헌 (16)

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