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반도체 가스 센서 어레이의 제작 및 폭발성가스 감응 특성
Fabrication of Semiconductor Gas Sensor Array and Explosive Gas-Sensing Characteristics 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SD, 반도체, v.37 no.11, 2000년, pp.9 - 17  

이대식 (慶北大學校 電子電氣工學部) ,  정호용 (慶北大學校 電子電氣工學部) ,  반상우 (慶北大學校 센서기술연구소) ,  이민호 (慶北大學校 센서기술연구소) ,  허증수 (慶北大學校 金屬工學科) ,  이덕동 (慶北大學校 電子電氣工學部)

초록
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폭발성 가스의 종류 및 그 양을 검지하기 위한 10개의 개별 센서가 한 기판위에 집적된 센서어레이를 개발했다. 이 센서어레이는 각종 가스에 대해 다양한 감도 패턴을 가지며, $SnO_2$를 모물질로 하는 10개의 산화물 반도체 가스센서로 구성하였다. 나노사이즈이며 큰 비표면적을 가진 모물질에 서로 다른 첨가물을 첨가하여 감지물질를 제작함으로써 저농도에 대한 감도 및 재현성을 높였고, 센서어레이 전반에서 균일한 온도 분포가 되도록 설계하였다. $400^{\circ}C$에서 동작하는 센서어레이로부터 얻은 감도를 이용하여 주성분 분석 기법을 통해 폭발 하한값의 범위에서 부탄, 프로판 그리고 메탄 등과 같은 폭발성 가스의 종류 및 양을 신뢰성 있게 식별할 수 있었다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

A sensor array with 10 discrete sensors integrated on a substrate was developed for discriminating the kinds and quantities of explosive gases. The sensor array consisted of 10 oxide semiconductor gas sensors with $SnO_2$ as base material and had broad sensitivity to specific gas. The sen...

참고문헌 (22)

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